德国Camtec半导体制程专用电源全系型号技术参数及行业应用

发布时间： 2026-06-18　　点击次数： 30次

德国Camtec半导体制程专用电源全系型号技术参数及行业应用

摘要：德国Camtec深耕工业高精度开关电源研发制造，全系产品德国本土组装生产，取得TÜV核验、ISO9001:2015、CE、RoHS、REACH全套合规资质，针对性研发半导体洁净制程、真空工艺、晶圆检测专用电源模组。产品适配半导体刻蚀、薄膜沉积、真空镀膜、晶圆分选、理化测控、无尘腔体配套供电场景，具备低纹波、抗电磁干扰、宽温运行、冗余扩容、可编程调压特性。本文整理品牌四大半导体专用系列多款量产型号参数、电气指标、结构适配性，客观公示原厂实测数据，方便半导体、化工真空制程、精密仪器行业选型参考，全文无功效承诺、无竞品对比、无极限类宣传词汇。

关键词：Camtec半导体电源；可编程直流电源；无尘制程供电；真空设备电源；DIN导轨式半导体电源；冗余稳压电源

一、半导体行业供电工况适配说明

半导体全制程设备对配套供电系统有固定工况要求：无尘车间低电磁辐射、真空腔体高低温交变耐受、电压电流高精度可调、浪涌抑制能力达标、可冗余并联扩容、适配洁净室ESD防静电标准、适配24h不间断启停作业。德国Camtec依托模块化电路工艺、全密封绝缘壳体、定制降噪电路，划分轻量化工位供电、大功率制程供电、真空隔离供电、UPS不间断供电四大产品线，覆盖半导体实验室研发、中试产线、规模化量产全场景供电需求，适配ISO1-8级无尘车间使用环境。

二、半导体专用产品线品类划分

本次整理市面常规流通、适配半导体及化工真空仪器四大系列，共计14款常用型号，区分安装形式、功率区间、防护等级，适配不同制程点位供电：

CPS-DIN半导体导轨式AC/DC电源：点位轻量化供电，适配晶圆检测台、微型真空阀、工位传感器配套供电，机柜导轨便捷安装，适配无尘机柜密闭布线
CPS-P可编程机架式直流电源：制程核心供电，适配磁控溅射、等离子刻蚀、气相沉积设备主回路供电，支持后台程控调压，可多机并联
CVG真空隔离DC/DC电源：超高真空腔体内置供电，低析出材质机身，适配10⁻⁹hPa及以上真空腔体内部元器件供电，耐腔体辐照、高低温交变
CUPS半导体专用DC-UPS不间断电源：产线断电稳压备用，适配光刻机、精密分选仪、理化检测仪器断电保机，规避晶圆制程数据丢失、工艺报废问题

三、CPS-DIN导轨式AC/DC电源（半导体工位常用款）

系列共性参数：单相交流输入，全机型自带浪涌抑制模块，电磁辐射符合半导体EN61000-6-3车间标准，防护等级IP20，DIN标准导轨卡扣安装，工作温区-25℃~+70℃，支持自然风冷，无需外置散热风机，减少无尘车间扬尘干扰，适配车间长期连续运行。

产品型号	额定功率	输入电压范围	输出稳压值	输出纹波噪声	适配工况点位
CPS120-24DIN	120W	85~264VAC	24VDC	≤35mVpp	晶圆扫码传感器、微型真空调节阀供电
CPS240-48DIN	240W	85~264VAC	48VDC	≤38mVpp	小型探针台、无尘平移模组步进驱动供电
CPS480-24DIN	480W	85~264VAC	24VDC	≤40mVpp	腔体温控模块、等离子辅助辅助组件供电
CPS960-48DIN	960W	120~240VAC	48VDC	≤42mVpp	中型晶圆分选机、真空上料机构成套供电

四、CPS-P可编程机架式直流电源（半导体制程主力款）

系列共性参数：19英寸标准机架安装，3U标准化机身，支持RS485/Modbus通讯程控调压调流，电压电流线性可调，自带均流并联接口，支持冗余组合扩容，整机效率区间89%~93%，适配半导体24h不间断制程，具备过压、过流、过热、短路四重自主保护。

产品型号	额定功率	输入制式	输出可调区间	稳压精度	适配核心工艺
CPS480P-060	480W	单相220VAC	0~60VDC	≤±0.15%	实验室小型等离子清洗工艺供电
CPS1500P-120	1500W	单相220VAC	0~120VDC	≤±0.12%	小型磁控溅射、薄膜预处理工艺供电
CPS3000P-250	3000W	三相380VAC	0~250VDC	≤±0.10%	干法刻蚀、PECVD气相沉积设备主供电
CPS6000P-400	6000W	三相380VAC	0~400VDC	≤±0.08%	规模化产线离子注入、镀膜成套供电

五、CVG真空隔离DC/DC电源（超高真空腔体专用款）

系列共性参数：低析出铝合金密封机身，出厂真空烘烤除气处理，适配10⁻⁷~10⁻¹¹hPa超高真空腔体内部使用，耐辐照阈值10⁶J/kg，耐温区间-40℃~+160℃，无有机挥发辅料，不污染晶圆腔体工艺环境，绝缘隔离强度3000VAC，适配腔体电磁隔离供电需求。

产品型号	额定功率	输入电压	固定输出	适配真空等级	使用点位
CVG60-24	60W	24VDC	12VDC	10⁻¹¹hPa	腔体内部微型位移电机、传感供电
CVG120-48	120W	48VDC	24VDC	10⁻¹⁰hPa	真空靶材调节模组、腔内温控元件供电
CVG240-60	240W	60VDC	48VDC	10⁻⁹hPa	中型真空工艺腔内传动组件成套供电

六、CUPS半导体DC-UPS不间断备用电源（产线保机专用）

系列共性参数：直流无缝切换稳压，切换延时＜8ms，适配半导体精密设备断电保工艺，支持浮充智能管理，可搭配Camtec原厂充电整流模块使用，具备故障无源告警功能，适配无尘机房密闭安装，支持并联扩容储能容量。

产品型号	配套稳压功率	额定输出电压	标准保机时长	适配设备类型
CUPS480-24	480W	24VDC	常规12min	晶圆检测仪器、小型理化真空设备备用
CUPS960-48	960W	48VDC	常规15min	光刻机、精密探针台、刻蚀辅机断电保机
CUPS2000-60	2000W	60VDC	常规20min	中型镀膜主机、真空合成制程设备备用供电

七、全系半导体电源通用选配及合规资质

1、可选配套组件

通讯组件：Modbus/TCP通讯模块、独立隔离信号采集模块，适配产线MES系统对接
扩容组件：原厂冗余均流模块、进线浪涌防护模块、ESD防静电进线端子
结构配件：无尘专用密封防尘盖板、真空专用耐高低温出线线缆、机柜减震固定支架

2、全机型合规资质

环保资质：RoHS、REACH欧盟化工电子用材合规认证，无受限重金属、挥发助剂
电气资质：TÜV整机核验、UL/CSA电气安全认证、EN61000半导体车间电磁兼容认证
生产资质：工厂ISO9001:2015质量管理体系认证，批次出厂全项电性抽检

八、半导体及化工真空细分适配场景

晶圆制程：晶圆分选、外观检测、晶圆搬运模组、真空吸附机构供电
薄膜工艺：PECVD沉积、磁控溅射、真空蒸镀、等离子清洗主机及辅机供电
刻蚀掺杂：干法刻蚀、离子注入、酸碱湿法工位稳压供电，抗车间电网波动
化工真空仪器：半导体配套真空反应腔体、高纯介质合成腔体、理化分析仪器腔内供电
实验室研发：高校半导体实验室、新材料真空实验平台可编程调试供电

九、安装使用通用提示

1、无尘车间安装需匹配车间防静电接地标准，接地电阻≤4Ω，降低静电干扰晶圆工艺；2、真空内置款CVG系列电源，禁止私自拆解密封壳体，避免破坏低析出结构；3、大功率可编程机型并联扩容，需使用原厂同型号均流模块，保障输出均衡；4、设备运行环境粉尘粒径需符合无尘车间管控标准，定期清理机身散热风道；5、所有机型适配常规工业市电，特殊电网工况可加装前端隔离变压器。

十、行业选型小结

Camtec四大半导体电源系列，从小功率点位供电到大功率制程供电、从外置机柜供电到真空腔内内置供电，完成半导体全点位供电覆盖：无尘机柜轻量化供电优先选用CPS-DIN导轨系列；刻蚀镀膜核心工艺选用CPS-P可编程机架系列；超高真空腔体内置供电选用CVG隔离系列；精密设备断电保机选用CUPS不间断电源系列。品牌支持输出电压、接口、壳体防护等级非标定制，本文所有电气参数、工况指标均源自Camtec德国原厂公开手册，参数以批次出厂实测数据为准，仅供行业选型参考。

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